課程介紹
教科書:
ULSI製程技術
教學進度:
第壹章：半導體工業簡介
第貳章：從晶圓的製造開始
第參章：晶圓的清洗
第肆章：真空系統與無塵室
第伍章：薄膜成長技術
第陸章：熱氧化
第柒章：金屬製程
第捌章：黃光製程
第玖章：蝕刻製程
第拾章：掺雜製程
課程大綱

本課程不開放報名